真空等离子喷涂（VPS）是一种在真空中，表面可以涂上等离子增强的涂层过程。这个过程可以给表面某些特性，而载体材料却不会改变。

技术上要求的真空等离子喷涂（VPS）系统涂层工艺要求有一个双壁的水冷式真空室。待涂覆的部件放在里面，然后关闭处理室。真空系统乐发vll500将腔室排出压力为0.08毫巴。这确保了大气中的氧气和附着在部件上的水蒸气完全被疏散，不会对部件产生负面影响。这也为产生极其纯净的气体环境创造了条件。接着，处理室与氩气的压力会被刷新到100毫巴，然后进一步疏散到1毫巴。

只有当工艺气体混合物进入，等离子燃烧器被开启时，实际的涂层才会开始。这是针对个别涂层和材料进行定制的。涂层主要受能量输入、所使用的气体和气体混合物、温度、涂覆时间以及单个工艺步骤的压力水平的影响。

乐发vll500在高电流的情况下，等离子体产生了一种电弧，将能量转移到涂层上。喷雾粉末混合在气体射流中，液体液滴在20,000摄氏度的温度范围内形成，并被加速、压缩和喷射到工件表面。真空室中的一个处理机器人在这个过程中移动等离子燃烧器，并确保所有部件均匀地喷洒。整个涂装过程大约需要30分钟。

由于对特定压力水平的精确维护对涂层工艺非常重要，使用频率控制的螺杆真空泵作为真空系统的后备泵。真空系统分为三个阶段。在每一种情况下，它由两个真空助力器组成，它预先压缩了被疏散的空气和冲水或过程气体，然后将它传送给另外两个额外正在并行工作的真空助推器。因此，在气体混合物或气体被进一步压缩在下游的螺杆真空泵之前，就会产生额外的压缩，从而达到系统的最终压力。使用的推进器的大小是协调的，以达到每小时12,000立方米的泵送速度。真空系统能够迅速达到真空室中0.08毫巴的初始疏散所需的压力，但能够在所有压力范围内工作，达到900毫巴，并精确地维持该过程所需的设置点。

除了频率控制驱动之外，好凯德螺杆真空泵也有其他优点，即它们是水冷的。这意味着操作温度可以设定或被设定到一个温度范围，以防止过程气体在真空泵中冷凝。这两种螺杆真空泵都连接到真空等离子喷涂（VPS）涂层系统冷却水系统。这也为整个系统提供了电离冷却的水。由于水的冷却，没有任何热量的释放。螺杆真空泵以完全干燥的工艺运转。这意味着，它们不需要在压缩腔内操作流体，可以与过程气体混合。

等离子喷涂（VPS）涂层系统，到目前为止，雅之雷德机电主要使用的是真空系统，系统可使用旋转叶片真空泵作为其涂层系统的支持泵。这些油润滑的真空泵是系统中非常可靠和强大的部件。但是由于设计，旋转叶片真空泵只能在有限范围内使用频率控制。